三菱ガス化学(本社:東京都千代田区)は12月13日、半導体の製造工程で使用される超純過酸化水素(以下、超純過水)事業のさらなる伸長を目指し、台湾子会社「巨菱精密化學股份有限公司」で、工業用過酸化水素(以下、工薬過水)製造設備を建設すると発表した。これにより、台湾で原料過水から超純過水までの一貫生産体制を実現する。台湾子会社の生産能力は過酸化水素４万トン／年(100％濃度換算)。総投資額は47億ニュー台湾ドル。運転開始は2023年１月の予定。
超純過水は、主に半導体のウエハやデバイスの製造工程で洗浄・エッチング、研磨剤として使用される。５G、IoTの用途拡大、そして半導体需要の伸長および微細化に伴い、より高品質で大量の超純過水需要の高まりを受け、同社は電子産業向け超純過水事業世界戦略を加速する。